WGL光電輪廓儀
發布日期：2015-05-20 瀏覽：1762次
主要技術參數
表面微觀不平深度測量范圍
在連續表面上，相鄰二象素之間沒有大于1 / 4 波長的高度突變時：1000 一1nm
相鄰二象素之間含有大于1 / 4 波長的高度突變時：130 一1nm
測量的重復性：δRa ≤0.5nm
物鏡倍率:40X
數值孔徑:Φ 65
工作距離:0.5mm
儀器視場 目視: Φ0.25mm
攝象: 0.13×0.13mm
儀器放大倍數 目視: 500×
攝象（計算機屏幕觀察）一2500×
接收器測量列陣:1000X1000
象素尺寸:5.2×5.2μm
測量時間采樣（掃描）時間:1S
儀器標準鏡 反射率（高）: ～50 %
反射率（低）: ～4 %
照明光源:白熾燈6V 5W
綠色干涉濾光片波長:λ≒530nm
半寬度λ≒10nm
主顯微鏡升程:110 mm
工作臺升程:5 mm
X 、丫方向移動范圍: ～10 mm
工作臺旋轉運動范圍:360°
工作臺頃斜范圍：±6°
計算機系統：P4 , 2 .8G 以上，內存1G以上17寸純平顯示器
表面微觀不平深度測量范圍
在連續表面上，相鄰二象素之間沒有大于1 / 4 波長的高度突變時：1000 一1nm
相鄰二象素之間含有大于1 / 4 波長的高度突變時：130 一1nm
測量的重復性：δRa ≤0.5nm
物鏡倍率:40X
數值孔徑:Φ 65
工作距離:0.5mm
儀器視場 目視: Φ0.25mm
攝象: 0.13×0.13mm
儀器放大倍數 目視: 500×
攝象（計算機屏幕觀察）一2500×
接收器測量列陣:1000X1000
象素尺寸:5.2×5.2μm
測量時間采樣（掃描）時間:1S
儀器標準鏡 反射率（高）: ～50 %
反射率（低）: ～4 %
照明光源:白熾燈6V 5W
綠色干涉濾光片波長:λ≒530nm
半寬度λ≒10nm
主顯微鏡升程:110 mm
工作臺升程:5 mm
X 、丫方向移動范圍: ～10 mm
工作臺旋轉運動范圍:360°
工作臺頃斜范圍：±6°
計算機系統：P4 , 2 .8G 以上，內存1G以上17寸純平顯示器
